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洁净室综合性能评价

更新时间:2020-01-08      点击次数:1422

洁净室竣工验收工作完成后,一般应由具有相关资质或相关授权、具有洁净室检测经验、拥有完备的计量检定合格的仪器、仪表的第三方来主持洁净室的检测工作。建设方、设计、施工、监理单位应在现场配合,以完成对洁净室的综合性能评价。
洁净室综合性能评价具有两方面的功能:
(1)由第三方主持验证新建或改建的洁净室是否达到设计要求,能否正常运行并满足所规定的污染控制标准,其结论较竣工验收报告更具有公正性。
(2)所测定的洁净室的初始性能,将作为该洁净室性能的“基准”。将来不论是例行检测还是出现问题时进行的测试,均可得到与初始测试结果的偏差。由此便于找出洁净室性能不达标或出现其它问题的原因。
1、ISO-14644所规定的检测项目

2、NEBB所规定的检测项目
美国国家环境平衡局NEBB关于洁净室性能测试所规定的测试项目如下:
(1)气流速度和均匀性测试。
(2)高效空气过滤器装置的检漏测试。
(3)房间尘粒数测试。
(4)隔断压差。
(5)温、湿度均匀性测试。
(6)噪声及振动测试。
(7)照度及均匀性测试。
(8)自净测试。
(9)电导率测试。
(10)粒子沉积测试。
(11)静电测试。
3、国内相关标准所规定的测试项目
国家标准GB 50073-2001《洁净室厂房设计规范》及行业标准JGJ71-90《洁净室施工及验收规范》所规定的洁净室测试项目如下表:

 

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