洁净室的性能监测

为了在洁净室运行过程中及时了解与判定洁净室所处状态是否符合设计要求和满足生产的需要，洁净室应定期对其主要技术性能指标进行周期性监测，某些高级别洁净室对一些关键性指标甚至设置了连续巡查的装置，以便及时判定洁净室的受控状态。
1、（表1：）标准ISO 14644-2的规定

备注：这些测试可按照规定的ISO等级在动态或静态条件下进行；
a.气流量可用风速或风量测量方法测得。
b.本项测试不适用于非全封闭的洁净区。
除上表规定的标准测试外，ISO 14644-2还给出了任选项目的测试，下表所列的任选项目测试也可包括在测试项目中。
（表2：）任选项目测试的时间间隔：
 
ISO 14644-2对洁净室监测还作出了如下一些补充规定：
（1）除表1所列的标准监测项目外，用户与承包商可共同商定增添其他的测试项目。
（2）如果洁净室装置了悬浮粒子浓度和压差的监测仪表，并连续或频繁的进行监测，且监测结果始终处于规定的限制以内，则可延长表1所列的时间间隔。
（3）如果监测数据出现超过规定限制的情况，标明洁净室不符合要求，要及时采取适当的补救措施，补救措施完成后应对洁净室进行再认定，若符合要求，就可以恢复例行监测。
（4）悬浮粒子浓度及其它参数的例行监测一般是在动态下进行。
（5）悬浮粒子的监测计划是根据洁净室的风险分析与评估制定的。该计划中应该包括的内容有：预先设定的采样装置，每个空气样本的小采样量、采样的时间长短、采样的时间间隔、测量的粒径、计数的许可限制。如果需要还可包括报警值、行动限制、漂移值。
2、国家标准GB 50073-2001关于监测的规定
GB 50073-2001对洁净室的监测作了如下规定，确认洁净室或洁净区符合规范要求应进行三项测试：
（1）空气洁净度测定（生物洁净室应进行浮游菌、沉降菌测定）；
（2）静压差测试；
（3）风速或风量测试。
三项测试的长时间间隔分别列于下表3和表4中。
（表3：）空气洁净度等级认证的测试要求

（表4：）静压差和风速（风量）认证的测试要求

备注：如果洁净室或洁净区已对粒子浓度、风速、静压差执行连续监测，并且其测试值均符合本规范要求，则认证的测试时间间隔可延长。具体间隔时间，可与认证单位洽商。
a.空气洁净度等级认证，可在静态或动态检测，洽商确定。
b.风量测定，用风速计在风口或风管测定。
c.该项测试不适用于洁净区。