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洁净室的噪声、微振与照度的测试

发布时间:2020-08-26      点击次数:1823

由于洁净室对排除室内污染物的要求高,因此比一般空调房间的通风换气量要大很多。1~5级高级别洁净室的通风换气次数甚至高达几百次之多,是普通舒适性空调房间换气次数的几十倍。正因为需要巨大的通风换气量,从节省驱动能耗及减少输送气流的沿程热损耗的角度出发,就要尽可能拉近机房与洁净室的距离。这也正是广泛采用装置在洁净室内的风机过滤器机组的原因之一。由于机械设备运转造成的机械振动与噪声、空调净化系统较高的静压值及系统中气流引起的噪声与微振等,都比一般空调系统更为突出,因此洁净室的噪声与微振成为了其性能的关注目标之一。洁净室内一般的生产操作和设备都十分精细,过高的噪声与微振将影响工作效率、产品成品率。同样,多数洁净室対照度也有较高要求,这也与其产品与工艺的细微有关。
1、相关的标准与规定
洁净室的噪声、微振与照度,相关规范ISO 14644均未作具体要求,而是建议由用户与供应商、承包商依照其它相关标准,采用协商一致的办法在合同中规定。工程竣工时依合同的规定进行检验。国家标准GB 50073-2001对噪声的限制值规定如下:
(1)洁净室内的噪声声级(空态),非单向流洁净室不应大于60dB(A),单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。各频带声压级不宜大于下表规定:

(2)洁净室的容许振动值,应由所设置精密设备、精密仪器或仪表的设备制造厂商和生产工艺部门提供。当用户和相关部门不能提供容许振动值时,国家标准GB 50073-2001建议,可参照GBJ22《隔振设计规范》执行。具体指标在检测工作开展之前,仍需与用户及供应商、承包商协商确定。
国家标准GB 50073-2001对洁净室的照度有下表规定:

2、噪声、微振与照度的检测
(1)噪声测试
按照国内行业标准JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》的规定,洁净室面积在15m2以下时,可在室中心位置测量房间噪声,大于15m2时,一般按5个测点采样,除房间两对角线相交的室中心位置外,另在房间四角对角线上对称的选取4点,测点高度一般距地面1.1m。通常采用带倍频程分析仪的声级仪在规定位置测定噪声,一般仅测A声级的数值,必要时测倍频程声压级。
对于噪声有更严格要求的场所需要测定噪声标准曲线NC或房间标准曲线RC,可参考NEBB所编写的《洁净室评价测试的学习课程》。
(2)微振测试
国内标准建议测点选在室中心地面和认为有必要测试振动的位置和地面上,以及壁板装配式洁净室的各独立壁板表面的中心处。
应分别测出室内全部空调净化设备,处于正常运转和停止运转两种情况下,X、Y、Z,即纵向、横向和垂直轴3个方向上的振幅值,并应特别注意测定同转动设备的转速相对应频率下的振幅。
选用振动分析计测定微振时,要注意其检测精度是否满足测试要求。
(3)照度测试
室内照明必须在室温已趋稳定,光源光输出趋于正常的条件下进行。一般要求新装日光灯已有100h,新装白炽灯已有10h使用期;旧日光灯必须已点燃15min,旧白炽灯已点燃5min后进行测试。
通常规定洁净室照度只测除特殊照明之外的一般照明。国内标准规定,测点平面离地面0.8m,按1~2m间距布置,测点宜离地面0.5~1.0m。
NEBB要求将房间划分为0.6m见方的小面积,在离地面760mm的中心位置测照度,关于照度平均值的获得还有一系列规定与方法,详见NEBB《洁净室评价测试的学习课程》。

 

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