洁净室污染渗漏测试

ISO 14644明确规定此项测试，并指出特别是对于1～5级高级别洁净室应有效的进行此项测试。此项测试的目的是用以测定有无受污染的空气从周围具有相同或不同静压的非受控区侵入到洁净区，以评估洁净室受周边污染的风险，为采取相应措施提供依据。此项测试可采用离散粒子计数器或气溶胶光度计。
1、使用离散粒子计数器测试污染渗漏
（1）测量紧靠被评估洁净室外部的粒子浓度，该浓度应该比洁净室高出10⁴倍，并且其浓度至少等于3.5*10⁶个待测粒径的粒子。如果浓度小于该值，为确保测试的可靠性应使用气溶胶发生器生成气溶胶，以提高相邻外部空气中悬浮粒子的浓度。
（2）检查通过施工接缝或裂缝的渗漏情况时，要在洁净室内离待测缝隙或啮合面5～10cm距离上进行扫描，其扫描速度约为5cm/s。
（3）当检查敞开门廊处的侵入情况时，应在洁净室内距开敞门口0.3～3.0m的距离上测量。
（4）记录并报告较所测得的外部气溶胶粒子浓度大于10^-3倍的读值。
2、使用气溶胶光度计测试污染渗漏
按照在现场检漏高效空气过滤器时相同的要求，在洁净室或洁净设施处生成足够高浓度的气溶胶，使得气溶胶光度计在0.1%设定值时超负荷，气溶胶光度计在0.1%设定值的读值超过0.01%就表明有渗漏。
当检查通过施工裂缝或焊缝的渗漏情况时，要在离待测缝或密封表面5～10cm的距离上扫描封闭体内部，扫描速度约为5cm/s。
当检查敞开的门廊处的侵入情况时，在距离敞开的门0.3～1m的距离上测量封闭体内部的浓度。
记录并报告所有超过气溶胶光度计0.01%标度的读数。
3、测试报告
除去测试报告常规的各项内容外，还应特别报告：
（1）数据采集方法及相关细节；
（2）测量点的位置；
（3）测量工作在洁净室所处何种状态下进行。