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洁净室如何进行静电测试?

发布时间:2020-07-06      点击次数:1358

1、表面电荷电位测量
(1)测量点或待测物体应按合同文件的规定。选择测试仪要依据待测物体是绝缘体还是导体以及其物理尺寸。
(2)手持仪器探头,其距接地的金属板的距离按生产商的规定,将静电计或场强计的读数调为零。
(3)手持探头使之与金属板平行,与金属板的距离按生产商的建议值。
(4)金属板的表面积应足够大,适合于所要求的的探头开口,且金属板足够大,有合适的探头与表面间距比率。
(5)按生产商的说明,使探头接近物体表面,并测量表面电压,或测量电场。记录每个规定测点的测量值。
2、表面电阻测量
(1)具体测量条件按合同文件的规定。
(2)应按生产商的建议以正确的间距将两个电极设置在表面上。用具有合适输出电压的欧姆计测量表面电阻。记录下每个规定测量点的测量值。
(3)将一个电极接地,另一个电极应按生产商的建议放置在表面上。用具有合适输出电压的欧姆计测量表面电阻。记录下每个规定测量点的测量值。
3、离子发生器测试
(1)测量点或待测物体应按合同文件的规定。
(2)工业标准中规定的测量电离器性能的仪器称为带电板监测器。它的基本组成是:一个已知电容量的孤立导电板,将板充电至已知电压或使其电压为零的电源,可测量板上的电压及其达到预置水平的时间的测量手段。
(3)将CPM放在规定的测量点,用电源将孤立的导电板充电至已知电压。
(4)随着板上的静电荷被电离器所减少,测量该板上的静电压降至10%初始电压的时间,即放电时间。在每个规定的测量点记录测量值。
(5)重复该步骤,将板充电至已知负电压。在每个规定的测量点记录测量值。
4、剩余电压测量
(1)测量点或待测物体应按合同文件的规定。
(2)将CPM放在规定的测量点,将孤立的导电板接地以消除残余电荷。如需要,将CPM读数调为零。断开接地连接。
(3)允许孤立的金属板有充分的时间从电离器获得电荷,且读数稳定。记录剩余电压。

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