洁净室的验收--静压差的测定

维持洁净室的静压差在规定的范围内，可以有效控制洁净室的交叉污染。通常所说的正压洁净室和负压洁净室，其实是反应它与相邻空间的压力差ΔP，如果ΔP＞0，该洁净室就是正压洁净室；若ΔP＜0，则为负压洁净室。所以，洁净室的静压没有太大意义，我们要控制的是洁净室与相邻洁净室或室外的压力差。
1、检测要求
（1）静压差的检测须在洁净区内的所有门全部关闭的情况下进行。
（2）测试顺序应在洁净室平面上由洁净度高的洁净室到洁净度低的洁净室（或走廊）依次进行，一直检测到直通室外的房间。
（3）测管口应设在洁净室内没有气流影响的地方，测管口平面应与气流方向平行。
2、测量仪器
采用YJB-150补偿微压计或微差压力计，仪器灵敏度由被测环境压差控制精度而定，宜小于0.1Pa，规范要求灵敏度不应低于2.1Pa。
3、测试方法
（1）关闭所有的门。
（2）用微差压力计，根据预先设计的测定顺序测量各洁净室之间，洁净室与洁净走廊之间，洁净室与非洁净室之间及非洁净室与室外的压差。
（4）上述所测数值分别标注在已画好的测试平面图上。
4、合格标准
按上述测试平面图所标注的压差数据，分别与设计或工艺要求的压差值对比。若实测压差大于或等于要求的压差值，则判定为合格；但实测压差值不宜超出标准要求的压差太多，否则会产生噪声且影响开关门，严重时还会在开关门时影响气流组织。