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洁净室的验收--洁净度的测定

发布时间:2020-06-15      点击次数:1530

洁净室的验收—洁净度的测定
竣工验收时,洁净度的测定应在空态或静态下进行。测定仪器-光散射尘埃粒子计数器,须经校验并在有效期内。
1、测点布置
在洁净室中,由于尘粒分布的随机性,如果测点布置太少,检测结果的偶然性太大,不能客观评价洁净度,显然测点越多越好,但会带来检测费用的增加,所以在确定测点数时应综合考虑。通常可按下表来确定必要的测点数。

进风面积(单向流)
或室面积(非单向流)/m2
洁净度
100级及高于100级1000级10000级100000级
<102~3222
104322
208622
40161342
80322582
1004032103
2008063206
4001601264013
100040031610032
200080063320063


ISO14646-1进一步简化测点数的计算方法,见式:NL=A0.5
式中:NL为小测点数
    A为洁净室(区)面积(m2
测点应布置在测定平面上均匀划分的网格中心。作为日常测定的测点,可以根据洁净室的性能选定测定点,也可选在操作点附近。测点高度应与生产工艺要求相适应,如工艺无特殊要求,一般选在距离地面0.8~1m为宜。
2、采样和采样量
在洁净度测定中,采样方法与采样量将直接影响测定结果的准确性,只有采样方法正确,采样量符合洁净度级别要求,才能使测定结果与空气含尘浓度接近。
在测试洁净度时,采样口平面应垂直于气流方向(即采样口与气流方向同轴向),采样速度应等于(或接近)气流速度,否则将会产生测定误差。这就是通常所说的等动力采样。采样管的长度应控制在1.5m范围内,且必须保持管内干净;采样管应与粒子计数器的采样接口严密连接。测定人员可以为2人,多不超过3人,应身着洁净工作服,其站位应避开采样口及回风口。采样头固定在三脚架上,粒子计数器放置在不锈钢小车上,便于多室测定时的移动。粒子计数器放置尽可能远离采样口且位置尽可能放低,以免其上的打印操作影响测量精度。测定时,应采用护套防水线插座作为移动供电电源,这样可保证多室测定时的连续供电。若使用各洁净室的插座供电,频繁开启粒子计数器会影响其使用寿命,也会使测定时间延长。
粒子计数器的采样量的大小,直接影响测定精度,《通风与空调工程施工质量验收规范》(GB 50243-2002)中规定,检测仪器应选用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器。不同级别的洁净室,每次采样的小采样量应符合《通风与空调工程施工质量验收规范》(GB 50243-2002)中B4.4规定的要求。洁净度级别越高,要求的小采样量越大。对于生物洁净室,高级别为100级,对于0.5um粒径的小采样量为6L,可使用采样速率大于等于5.66L/min的粒子计数器测定。若采用采样速率为2.83L/min的粒子计数器测定,可采用延长采样时间来提高采样量的方法测定洁净度。
3、洁净度测定
测定人员经人身净化,测定仪器及辅助工具经仔细清洁后,方可进入被测环境中。在同一洁净车间中,从高洁净度的洁净室开始测定。该项测定应在送风量、流速、压差以及过滤器检漏测试之后进行。测定前接通电源,预热仪器,调整仪器到测定状态,按画好的测点布置图依次逐点测量。每个测点采样3次,取3次平均值作为该测定点的实测值。为了减小测定误差,每移动到一个新的测点,应从第二个测试数据开始记录。因为在移动位置的过程中,由于人员的操作活动,会影响洁净室内的气流流形。粒子计数器的打印机在每个测量周期(1min)终止后自动打印一次。所以打印结束后及时标注测点编号及检测次数。
4、合格标准
(1)每个采样点平均粒子浓度Ci≤洁净度等级规定的限制。
(2)洁净室平均粒子浓度N的95%置信上限值≤洁净度等级规定的限制。
如果同时满足这两项,则该洁净室(区)被认为是达到了规定的空气洁净度等级。
5、编写测试报告
每次测试应保存好记录,并提交性能合格或不合格的报告。测试报告应包括以下内容:
(1)测试机构的名称、地址。
(2)测试日期和测试者签名。
(3)执行标准的编号及标准实施日期。
(4)被测试的洁净室(区)的地址、采样点布置及编号图。
(5)被测试的洁净室(区)的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室所处的状态、气流流行、静压差。
(6)测量用仪器的编号和标定证书复印件,测试方法细则及测试中的特殊情况。
(7)测试结果,包括在全部采样点布置图上注明所测的粒子浓度。
(8)对异常测试值进行说明及数据处理。
6、几点说明
在洁净度的动态检测中,应注意被测环境的相对湿度对测试结果的影响,如BCJ-1A尘埃粒子计数器,其工作环境要求:相对湿度为20%~70%,在测试大输液净化车间时,应首先测定相对湿度,看其是否满足工艺要求及仪器的使用要求。在动态下,若相对湿度偏高,直接影响粒子计数器的检测结果。当检测数据突然急增时,应仔细分析,调控相对湿度在许可的范围内,再进行测试。

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