洁净室的检测与认证--高效空气过滤器检漏

高效空气过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能实验检测（如DOP测试等），并提供合格证(性能实验结果)。对于5级(100级)以上洁净室所使用的高效空气过滤器，在现场应再次进行高效空气过滤器本体的性能检测，同时进行检漏试验以确认高效空气过滤器是否正确安装。在大规模集成电路生产的超洁净技术中(如0.1um，1级)，由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级(1000级)的程度。在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
1、检测要求
（1）一般采取粒子计数器法进行检漏，被检高效空气过滤器必须已检测过风量，并在设计风速的80%～120%进行。
（2）对于被检高效空气过滤器上风侧的微粒浓度符合下列要求：
对受控微粒≥0.5um的浓度，必须大于等于3.5*10⁴pc/L
对受控微粒≥0.1um的浓度，必须大于等于3.5*10⁶～3.5*10⁷pc/L
2、检测方法
采用扫描法对高效空气过滤器安装接缝和主断面进行检测，监测点应距被测表面20～30mm，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描。粒子计数器的小采样量大于1L/min。
3、检测设备
（1）光散射粒子计数器
其工作原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系，测量微粒粒径大小。光散射粒子计数器一般由气路系统、光学系统、电路系统和电源等部分组成。
（2）激光粒子计数器
其工作原理与光散射粒子计数器基本相同，但因采用了比光散射粒子计数器强100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒径的检测范围达0.1μm。
（3）凝聚核粒子计数器
它是利用饱和蒸汽让微小粒子凝聚为大粒径粒子，进行微粒粒子浓度测定。工作原理为：采样空气中的微粒，经过温度为35℃的饱和管，然后在温度为10℃的凝聚管内由媒介液进行凝聚，直至增大到能够检测到散射光的粒径为止，其他部分与一般光散射粒子计数器相同。
4、合格标准
GB 50591-2010《洁净室施工及验收规范》中规定，由高效空气过滤器下风侧泄露浓度换算成的透过率来衡量是否合格，其合格标准如下：
对于高效空气过滤器  K′=c2/c1*100%≤2K
对于超高效空气过滤器  K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K为过滤器出厂时检测合格的透过率；
    K′为过滤器的泄露浓度换算成的透过率；
    c1为过滤器上风侧含尘浓度；
    c2为过滤器下风侧含尘浓度。