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洁净室的压差测试

发布时间:2020-01-31      点击次数:1241

为防止污染物透过围护结构缝隙侵入洁净室,洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性,同时和不清洁的周边环境要维持一定的正压差。洁净室的正压是靠送风与回风和排风的差值实现的。
当洁净室相对于周边环境具有的正压差,则通过洁净室的缝隙、开孔外溢的气流量为:                    
(式一)
此时,洁净室相对周围的正压为:
(式二)
式中,为空气流过缝隙或孔口的局部阻力系统;
          为空气流过缝隙或孔口的流速,m/s;
         为空气密度,kg/m3
由式二可得:

则维持正压时的泄漏风量为:

(式三)
式中,为缝隙或孔口的过流面积,m2
由式三可知维持的正压值越高,缝隙或孔口的合计面积越大,则泄漏风量也越多。过多的无效泄漏风量将增大受控环境的能耗,因此应关注其气密性,在维持必要压差条件下减低其泄漏风量。值得注意的是,根据上述分析,在进行洁净室压差检测之前,必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时,应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回风量、排风量是否与规定风量相符。在此前提下,再逐一测定封闭的洁净室和周围附属环境之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如无周围的附属环境,则测定与记录下封闭的洁净室与外部环境之间的压差。
通常使用电子微压计、倾斜式微压计或机械式压差计来测定区间的压差。
按照 GB50073-2001《洁净厂房验收规范》的规定:不同等级洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差应不小于10Pa。
国内行业标准 JGJ71-90《洁净室施工及验收规范》除与GB 50073-2001的规定相同外,并对ISO 5级以上的单向流洁净室有如下规定:洁净度高于5级的单向流洁净室在开门状态下,在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。

 

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