洁净室的压差测试

为防止污染物透过围护结构缝隙侵入洁净室，洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性，同时和不清洁的周边环境要维持一定的正压差。洁净室的正压是靠送风_{与回风和排风的差值实现的。
当洁净室相对于周边环境具有的正压差，则通过洁净室的缝隙、开孔外溢的气流量为：}                    （式一）
此时，洁净室相对周围的正压为：
（式二）
式中，为空气流过缝隙或孔口的局部阻力系统；
          为空气流过缝隙或孔口的流速，m/s；
         为空气密度，kg/m³。
由式二可得：

则维持正压时的泄漏风量为：

（式三）
式中，为缝隙或孔口的过流面积，m²。
由式三可知维持的正压值越高，缝隙或孔口的合计面积越大，则泄漏风量也越多。过多的无效泄漏风量将增大受控环境的能耗，因此应关注其气密性，在维持必要压差条件下减低其泄漏风量。值得注意的是，根据上述分析，在进行洁净室压差检测之前，必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时，应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回风量、排风量是否与规定风量相符。在此前提下，再逐一测定封闭的洁净室和周围附属环境之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如无周围的附属环境，则测定与记录下封闭的洁净室与外部环境之间的压差。
通常使用电子微压计、倾斜式微压计或机械式压差计来测定区间的压差。
按照 GB50073-2001《洁净厂房验收规范》的规定：不同等级洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa，洁净区与室外的压差应不小于10Pa。
国内行业标准 JGJ71-90《洁净室施工及验收规范》除与GB 50073-2001的规定相同外，并对ISO 5级以上的单向流洁净室有如下规定：洁净度高于5级的单向流洁净室在开门状态下，在出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。