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洁净室的清扫
1、人工擦拭法:即人用洁净室擦布和纯水对洁净室的地、墙、顶以及家具和设备表面进行擦拭。这种清扫方法较为*。2、分散式真空吸尘法:一般此方法只适用于低级别(1000级、10000级、100,000级)乱流洁净室。方法简单、灵活、方便,每天下班后均可采用此方法清扫。但由于移动式真空吸尘器内的圆筒形过滤器的效率比较低(≥99.5%,≥0.5µm),因此不适用在别的洁净室。一般情况500m2洁净室可设两台吸尘器,每增加500m2增加一台,zui多不超过10台。3、集中式真...
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2013-09-28
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洁净室的发尘源
对于洁净室的尘源,除了来自室外大气的尘粒和进入洁净室的人和物携带的灰尘之外,洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员,洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。1、洁净室内作业人员的产尘。作业人员的产尘与所穿的洁净工作服的材料、型式、着装情况和作业人员本身的动作有关。因此,洁净室内的作业人员必须穿规定的工作服而且动作也要受到一定的限制。通常情况下,一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时,人员的产尘量为3.5~5.0×105个/人·分(≥0.5µm...
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2013-09-28
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过滤器的性能
过滤器性能一般包括过滤效率E;初阻力Hc;容尘量g。1、过滤效率E=被过滤器过滤掉的(捕集的)粒子量/未过滤前空气中粒子总量×100%。一般而言:≤0.1µm粒子主要作布朗扩散运动,粒径越小,效率越高。0.5µm粒子主要作惯性碰撞运动,粒径越大,效率越高。0.1d0.5µm之间的粒子其过滤效率有一个zui低点,即zui大穿透率的粒径。2、初阻力Hc:气流绕纤维运动产生微小阻力,无数微小阻力之和即滤料对空气的阻力。过滤器的阻力与气流速度有关,...
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2013-09-26
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过滤器的效率和阻力(GB 13554-92)
性能指标性能类别效率(E%)额定风量下的初阻力(Pa)A额定风量下的钠焰效率≥99.9≤190B额定风量和20%额定风量下的钠焰效率≥99.99≤220C额定风量和20%额定风量下的钠焰效率≥99.999≤250D额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率≥99.999≤280
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2013-09-26
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过滤器的效率和阻力(GB/T 14295-93)
性能指标性能类别额定风量下的大气尘限径计数效率(E%)额定风量下的初阻力(Pa)粗效≥5.0μm80E20≤50中效≥1.0μm70E20≤80高中效≥1.0μm90E70≤100亚≥0.5μm99.9E95≤150
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2013-09-26
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静压差的测定
1、静压差的测定要求:(1)静压差的测定是洁净区内所有的门全关闭状态下进行的。(2)应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行,一直到直通室外的房间。(3)测管口设置在室内不受气流干扰的地方。(4)所测数据应到1.0Pa。2、静压差的测定步骤:(1)是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。(2)用微压差计测量洁净室之间,洁净室和走廊之间,走廊与外界之间的压差。(3)记录在案。3、静压差测定用的仪器:静压差测定一般采用的仪器为YJB-150型补偿式微压计,倾斜式压力计,精密指针式压力计...
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2013-09-26