静电和离子生成器测试仪表

洁净室或其它受控环境对内围护结构材质的物理、化学稳定性要求较高。相应而来的问题是地面面层虽光洁、柔韧、耐磨，但导电性能是否符合要求，会不会聚集静电围护结构面层。特别是地面静电聚集、其危害是多方面的，包括损坏电子设备、仪器、击伤人体、导致火灾、爆炸等，对于电子工业尤为严重。国家标准GB 50073-2001规定，地面面层应采用静电耗散型材料，其表面电阻率应为1.0*10⁵～1.0*10¹²Ω或体积电阻率为1.0*10⁴～1.0*10¹¹Ω.cm。地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0*10⁵～1.0*10⁹Ω。有关防静电系统测试方面的要求，可参考国内电子行业标准SJ/T10694《电子产品和制造防静电系统测试方法》。
国家行业标准JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》对地面、墙面及工作台面的导静电性能，推荐采用符合精度要求的高阻计，在被测表面上选定代表区域的两点间，按下图所示方法进行测试。


ISO 14644-3对静电测试相关仪器给出了以下技术要求：
1、静电电压计
静电电压计用以测量ɑ区域内的平均电压或电位，对其技术要求如下表所列。
对精密电压计的测量技术要求：
   

对手动式静电电压计或静电场强计的测量技术要求：


2、高电阻欧姆表
高电阻欧姆表用以测量绝缘材料和部件的电阻，其方法是探测从一施加高压的部位到被测部位的漏电电阻，对其技术要求及附加技术要求如下表所列。
高电阻欧姆表的测量技术要求：


高电阻欧姆表的测量附加技术要求：

3、充电板检测仪
充电板检测仪用以测量电离器或离子化装置的中和特性。测试的目的是评估双极离子生成器的性能，测试内容通常包括两个方面：
（1）测量放电时间，用以计算离子生成器消除静电荷的效率；
（2）测量补偿电压，用以评估在离子生成器生成的离子化气流中正负离子的不稳定性。离子的不稳定会造成不利的残余电压。