无尘室的介绍

无尘室是指可以将环境因素控制在规定数值内的空间，称之为无尘室。室内环境因素包括空气中：微生物、微尘粒、气体分子、温度、湿度、气流流型、风速、压差、照度、噪音、微振动、静电、风量、电磁波等无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室按用途可分为两大类：
（1）工业无尘室：以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
（2）生物无尘室：是以有生命微粒的控制为对象。1999年标准化技术协会公告发行ISO/TC209通用标准，将无尘室分成9个等级，采用SI制单位，1k级即英制中的1000级，室内环境中1 ft3、0.5um的微尘颗粒不超过1000颗。 主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。
无尘室又可分为：
A、一般生物无尘室：主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。　　
B、生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）。
无尘室zui主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上，当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3um粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了无尘标准的*。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于*，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5um及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。