无尘室洁净度定期检测及测量标准

无尘室洁净度定期检测及测量标准
1、为了保证无尘室的洁净度满足工艺要求，必须定期对无尘室内的洁净度进行检测。
2、检测测试设备：激光粒子记数器。
3、检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测。
4、检测条件：静态洁净度测试。
5、数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。
6、各洁净区域洁净级别标准：按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。
洁净等级标准相当于ISO级别等效于GB级别
K-1系统划片区域
K-1系统改造前为静态10万级 CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系统包封区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3系统搪锡区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4系统测试区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8系统电镀区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3