洁净室中常被采用的空气循环系统

（1）单独空调器系统
循环空气通过空调器进行温、湿度处理后以风管直接分送至各HEPA过滤器，但不宜用于过滤器多的系统，空调器的风量一般不会太大。另一种方式是用总风管至静压箱，如有静压箱，宜用于过滤器多的系统，静压箱要求密封性好，以免污染物通过过滤器与静压箱的安装接缝处以有不严密处漏入至洁净室，这一点对要求严的洁净室是十分重要的，常设在静压箱上一层屋顶层内，以减少送风管长度。一般每台空调器的风量30000-45000m3/h间，以控制噪声过大，风压（气压）一般控制在650-700Pa以内。
（2）轴流风机竖井式布置，有压静压箱
这种空气循环系统主要用于大的IC工厂的洁净室，由于其风量大，过滤器多，每台轴流风机的风压常控制在400Pa左右，以适应轴流风机低风压、大流量下的运行效率佳并控制其噪音。此系统的特点是综合投资及运行费用较高，维护管理方便，但灵活性较有效期，另外有压静箱的缺点同上。
（3）FFU系统
FFU是近几年发展起来的，在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。其特点是灵活性大，便于改造，扩展；占用建筑物空间较少；无压回风静压室，洁净室内风压大于它的，排除静压室对洁净室漏入污染物。由于运行时的静压一般皆在250Pa左右，因此要求系统总阻力（过滤器为初阻力）控制在165Pa左右，即整个回风阻力（包括风道、各种局部阻力等）控制在65Pa左右，过滤器初阻力控制在约100Pa，融就需再增设加压风机系统，这就降低了FFU系统的综合优点。
FFU单机风量一般在1000-2000m3/h，由于小风机所用小容量（功率<1/2Hp）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，因此运行能效低，现多采用电子正流电机（无刷直流电机）其效率可达75-80%。解决了以往运行能效低的问题，在调整控制上，可每台单独或成组以过滤器压降进行控制以进一步达到节能。FFU系统，可用于各行业的洁净室，只要回风系统阻力及过滤器阻力能合适控制，对小系统往往是可取的；对过滤器满布率较低（如25%）左右的大面积洁净室亦采用较多；对过滤器满布率较高时一般往往是不经济的，满布率高，意味着风量很大，如控制系统阻力，回风道要很大，往往在综合经济上不可取，亦较难实现。