洁净室的四种类型

洁净室的四种类型
（1）非单向流洁净区
（2）单向流洁净区
（3）混合流洁净区
（4）微环境/隔离装置
洁净室按气流型式过去分非单向流的及单向流的（垂直、水平单向流），90年代中后期ISO14644-4中又提出了混合流的型式，即把实际早已存在的在非单向流洁净室设置局部的单向流的洁净工作台/站或层流罩等对关键部位进行“点”的“线”的保护以减少单向流洁净区的面积。如手术室、制药厂、实验室及小批量生产的洁净室中尚采用这种“点”的保护。而半导体工厂常采用“洁净隧道”形式形成“线”的保护，即把较多工序的各台设备的关键加工区置于非单向流洁净室的层流罩内，各台设备的关键加工区一般都面对布置。微环境/隔离装置，是80年代出现的，90年代以后应用逐渐广泛，它与洁净室的概念是不*相同的，它是无人在内的，是工艺加工设备的关键加工部位*与周围环境隔离并进行加工，防止人等周围环境对其加工的污染。它必须是密切与工艺及工艺设备相结合的，实质上它已成为工艺设备的一个组成部分。