电子产品生产与洁净技术

电子产品生产与洁净技术
国内外的洁净技术的发展都是随着科学技术的发展、工业产品的日新月异，特别是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展而不断发展。现代工业新产品和现代科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。产品的微型化等的生产，要求有一个“洁净的生产环境”，洁净技术便是按照产品生产对“洁净生产环境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制设施的日益严格而不断发展。洁净生产环境—洁净室（洁净厂房）的称谓、名称或定义，先后使用过“无法室”、“无窗厂房”、“密闭厂房”、“空气悬浮粒子受控的房间”……等，洁净室因定义为将空气中的微粒、有害气体、微生物受控的房间，以满足产品生产的需要;洁净室的建造和使用应不引入或少引入微粒等，应不产生或少产生微粒等应不滞留微粒等;应对洁净室内的温度、湿度、压力等参数按产品生产要求进行控制;根据产品生产要求还需对洁净室内的气流分布、气流速度以及噪声、振动、静电等进行控制。
根据电子产品生产的特点，以半导体集成电路生产用洁净室除应安装产品生产用设备外，一般应具有下列功能设施：
净化空调系统、净化设备
洁净建筑及装饰
噪声控制、防微振
防静电、防电磁干扰
电气、照明
高纯物质—高纯水、高纯气、高纯化学品供应
安全、报警系统
通信设施等
洁净室设计是一门综合技术，设计过程的关键专业技术是生产工艺技术及其工艺设计；空气净化专业设计；洁净建筑设计以及各类产品生产所需的专业技术，如微电子产品生产所需的高纯物质—高纯水、高纯气的专业技术等。这些专业技术在洁净室设计中都是*的，它们之间必须密切配合，围绕着满足产品生产的需要，相互协调、统筹安排，在做好各相关专业设计的基础上，处理好电源、冷源、热源等动力供应，节约能源；设有各项安全设施—消防、防火、防爆、安全报警确保洁净室的安全运行；安排好各类配管配线，确保各种流体介质的输送质量，减少材料消耗，方便施工安装和运行维护。