洁净度检测示例

例：洁净室面积为80m2，要求的洁净度为5级，并要求对于0.3um和0.5um两种粒径的微粒进行检测，应该如何进行？

1、检测操作前的准备

（1）判断规定的被检微粒的粒径是否在5级粒径限值之内。0.3um和0.5um介于0.1um和5um之间，所以规定的被检微粒在5级粒径限值之内。

（2）判断规定的被检微粒相邻的较大粒径是否不小于较小粒径的1.5倍。

0.3*1.5=0.45，0.5＞0.45，符合要求。

（3）计算微粒最大允许浓度，计算公式为：

计算结果：

1）对于粒径不小于0.3um的微粒，最大允许浓度为10200pc/m3。

2）对于粒径不小于0.5um的微粒，最大允许浓度为3520pc/m3。

（4）计算最少采样点数。计算结果：最少采样点数为9个。

（5）计算单次测定的最少采样量，计算结果：

对于不小于0.3um的微粒，a=10200pc/m3，代入公式：

检测如下：

2、数据处理

因为采样点数小于10，所以应该考虑95%置信度的微粒浓度的上限。

（1）每个采样点的平均值。每个采样点只采样一次，所以每个采样点的一次测得值可以作为该点的平均值。

（2）总平均值

1）对于不小于0.3um的微粒：总平均值为6349 pc/m3。

2）对于不小于0.5um的微粒：总平均值为706 pc/m3。

（3）采样点平均值的标准偏差

1）对于不小于0.3um的微粒：2154

2）对于不小于0.5um的微粒：382

（4）计算置信上限。置信度取95%，采样点数m=9，从t分布表中查出t值为1.9。

1）对于不小于0.3um的微粒：

2）对于不小于0.5um的微粒：

3、检测结果的判断

1）对于不小于0.5um的微粒，a=3520pc/m3，代入公式：

                                                               
2）采样条件要求单次采样量不小于2L。
3）采样条件要求单次采样时间不小于1min。

4、检测操作
（1）根据检测条件要求，可选用28L/min光散射气浮微粒测定仪进行检测。
（2）每个采样点只采样一次，检测结果见下表。每点测得的微粒数值均满足洁净度级微粒数均满足洁净度级别的要求，95%置信的微粒浓度的上限也满足洁净度级别的要求，所以该洁净室的级别度符合要求。