洁净室温度与湿度的测试

本项测试内容的目的是验证洁净室或洁净设施的空调系统在被测区域内维持的空气温度、湿度指标是否在用户与供应商、承包商事前商定的控制限度范围内。
洁净室或洁净设施温、湿度测定通常分为两个档次：一般测试和综合测试。一般测试适用于处于空态的竣工验收测试，综合测试适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。
1、一般温、湿度测试
此项测试应该在气流均匀性测试完成，空调系统的控制装置调节后进行。测试工作应该在空调系统稳定运行的状况下进行。
根据ISO 14644-3“测试与测试方法”的规定，关于测点位置和数量，原则上由用户与供应商、承包商约定。但各温控区至少要测1个位置上的温、湿度。各温度、湿度传感器应该放置在工作高度上的位置。应待传感器有足够的时间稳定下来以后，再记录各个位置上的温、湿度。测量时间段内至少每6min读一次温、湿度，并做记录。
国内行业标准JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》的具体要求是：在进行温、湿度测定前，净化空调系统应已连续运行至少24h。测点一般布置在以下各处：
（1）送、回风口处；
（2）无恒温要求的系统则仅在室中心位置测试；
（3）恒温工作区内具有代表性的地点，如沿着工艺设备周围布置或等距离布置；
（4）温、湿度自动控制敏感元件设置处。
此外还规定，所有测点宜在同一高度，一般离地面800mm，也可根据空间大小分别布置在离地面不同的高度的几个平面上，测点距外窗外墙表面应大于500mm。
2、综合温、湿度测试
此项测试建议在有严格的环境控制要求的场合进行。
该测试应在空调系统已经运转，状况已经稳定至少1h后进行。
应把工作区划分成等面积的格子，格子数量按ISO 14644规定，由用户与供应商、承包商商定，但至少要有3个。
温、湿度测试元件应设置在工作高度，并距顶棚、墙和地面不少于300mm，同时还要适当考虑到热源的存在。按ISO 14644-3的规定，测量时间应该至少1h，要至少6min读一次值并记录下来。
国内行业标准JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》对室内有温、湿度精度要求时的测点数则做了如下表所示的规定。
此外，还要求进行较长时间的连续测量。具体规定为：根据对温度和相对湿度波动范围的要求，测量宜连续进行8～48h，每次测定间隔不大于30min。

3、测试报告
除去一些常规内容外，还应包括以下内容：
（1）测试仪器操作者姓名或数据采集装置的名称；
（2）测试仪器的名称及其校准状况；
（3）测试类型及测量条件，洁净室或洁净设施所处状态；
（4）测点位置；
（5）按规定所进行各次测量的原始数据。