检测目的:检测洁净室内空气悬浮粒子等级。根据ISO 14644-1:1999(E)确定房间洁净度分级。
仪器设备:尘粒计数器
检测条件:静态
对每种尘粒尺寸的允许计数限值:
ISO 4级:≤1020个/m3:0.3um以上
≤352个/m3:0.5um以上
ISO 5级:≤10200个/m3:0.3um以上
≤3520个/m3:0.5um以上
ISO 6级:≤35200个/m3:0.3um以上
≤293个/m3:5.0um以上
检测步骤:
参考:ISO 14644-1:1999(E)空气洁净度分级
NEBB洁净室认证检测标准步骤(第二版)
1、本检测应在其它所有检测完成之后进行。
2、洁净室在检测进行前12小时通风。
3、洁净室依照ISO 14644-1:1999(E)要求划分为检测网格,检测网格数量由洁净室面积(m2)的平方根确定。
4、ISO 5级洁净室的采样时间间隔为1分钟,ISO 4和6级洁净室的采样时间间隔为3分钟,计数器的采样率为28.3lpm(1立方英尺/分钟)
5、在每个网格的中心位置,距地板1m高度至少采样一次,当尘粒数超过允许计数上限75%,则该采样点需3次采样。
6、当室内存在障碍物,采样点需高于障碍物表面12英寸(1英尺)。
7、根据收集的数据计算平均值,标准差及95%置信上限。
计算方法:
式中,Ci为网格平均浓度
N为房间或区域内采样点总数
标准1:各采样点的采样量的大值均小于大允许采样量
标准2:(当2≤N≤9)
≤大允许采样量
式中:
t0.95中的t为分布在N-1自由度下95%分位数。