洁净室的基本参数及特殊参数

一、基本参数
1、洁净度
洁净度是洁净室的重要基本的技术指标。其单位是：单位体积的空气中粒径不小于某一尺度的微粒个数。尤其是微电子行业对于洁净室的要求较高。
2、微生物浓度
微生物浓度是洁净室的另一项重要技术指标。其单位是：单位体积的空气中微生物个数。生物工程行业对于微生物浓度的要求较高，其次是医疗、制药、食品、饮料、化妆品等行业。空气中的微生物是空气微粒的一部分，确切的说是危害较大的一部分。通常测定的是空气中细菌的浓度。
3、温度
温度是基本的工作条件，几乎所有的洁净室对于温度都有明确的要求。温度会影响植体的尺度，从而影响加工的度，从而影响加工的度，所以精密加工对于温度有相当严格的要求。温度会影响仪器的参数，从而产生测定误差，所以精密测量仪器对于温度的要求也较高。
4、湿度
湿度也是基本的工作条件，几乎所有的洁净室对于湿度都有明确的要求。湿度过大会使许多物质发生化学反应，从而影响产品质量，甚至使设备失效，产品报废。湿度过低又会使许多物质脱水变形，失去原有的功能。
5、风速与风量
足够的风速与风量是洁净度的保证，过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响正常的工作。
6、气压与压差
正常的气压是正常工作的基本条件。必要的压差是控制漏气方向的手段。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄露。病毒实验室或传染病房不允许室内空气向室外泄露。
7、噪声
过大的噪声不仅会影响正常的工作，而且会影响人员的身体健康，降低噪声是洁净度的一项基本要求。
8、照度
适当的照度是正常工作的必要条件。
二、特殊参数
1、振动
振动会影响仪器设备的稳定性，从而影响仪器的准确度，还会影响设备的加工度，所以有些洁净室需要控制振动。
2、静电
静电有许多危害，特别容易损坏微电子元件，所以微电子行业采取相应的防护措施，预防静电的产生或者使产生的静电能够及时泄漏，以减少静电对电子行业所造成的损失。
3、有害气体浓度
有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品合格率，所以洁净度需要控制有害气体浓度。
4、辐射强度
X射线、Y射线、电磁波等辐射对人体有较大的的损害，有时对生产设备或产品也有损害。