一、无尘室系统施工流程
1、新风经过滤后与回风混合,进入风冷空调机,通过中效过滤器,经末端低阻力过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入无尘室。
2、气流组织
(1)万级间全部采用上送两侧回风,车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道,接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中、高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。
(2)新风系统进行粗、中二级过滤,以确保空气的含尘浓度较低,减少外部尘源影响,提高无尘室的净化效果,并大大延长过滤器的使用寿命,减少运行维护费用。
(3)新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量>35m3/h),并保证无尘室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)
二、无尘室施工
(1)天花:洁净区及生区域用双层保温(PU)彩钢板,无尘明亮,色用灰白,厚50mm。符合电子厂房洁净防静电要求。
(2)间隔:洁净区及生区用双面彩钢保温(PU)板围护及间隔。洁净车间内间隔与地面及无花交角做元弧及阴角接口,防积尘及易于卫生清洁。
(3)密闭门:单扇门:900*2000,上做玻璃观察窗(同间隔墙平窗尺寸),装通道锁,门及门框采用不湫钢制作。
(4)地面:防静电规范
A.洁净区水泥地面经处理后做3mm防静电环氧地坪。符合欧洲EN548标准和要求。防火性能符合:DIN4102-1。B1级:抗燃烧性符合ISO06923,难燃;抗静电性<+/-100V。抗化学性能符合EM423;耐稀酸、油脂、及乙醇、丙酮、石渍溶剂等。具有不吸尘、不吸灰的特性。
(5)柱子:洁净区柱子用彩钢板全包边,并作?回风技术夹层。
(6)风淋室:按规范要求,无尘室的风淋室设计双人的2个。
三、无尘室照明、配电
无尘室(1万级)用明装净室带罩防尘灯402。工作区照度>250Lux,走道照度>100Lux,有精细加工操作区域可采用局部照明。布线按国家规范执行,用穿线钢管暗敷,符合防火及用电规范。所有管线穿过洁净区域均做好密封,线管线槽的内孔(内槽)应全密封。进入净房的气管、水管也须做密封,能设置在顶棚上走的管道,设置在顶棚上。使车间整洁干净。照明、配电按国家有关规范及甲方要求,设计及制作,满足生及管理对设备运行及控制的要求。